在线过程气相色谱分析仪配套的发生器在使用过程中，由于空气压缩机直接抽取实验室空气，要保证气体的纯化效果，首先要保证实验室的环境清。因此压缩空气使用前既要除水蒸气还要除有机杂质。氢气发生器和氮气发生器，要注意所用试剂的纯度以及管路是否漏气，水蒸气是其主要杂质。

WH609X在线过程气相色谱分析仪运行时，所使用的气体中含有的杂质，会对分析对象、色谱柱、检测器和色谱图造成影响，影响在线过程气相色谱分析仪灵敏度和稳定性，以及结果分析。因此所有气体在进入仪器前要严格净化，保证仪器工作所需要的纯度。

WH609X三氯氢硅在线色谱仪在分析中，色谱柱的老化是非常重要和常见的操作，色谱柱老化又称之为“色谱柱活化”或者“烧柱子”、“烤柱子”。我们建议客户在拿到新的色谱柱时候，或者是长期放置未使用又重新启用的色谱柱和长期使用的色谱柱和进行复杂基质或者大量样品分析的色谱柱进行老化。

三氯氢硅作为制造多晶硅的主要原料，其中二氯二氢硅的含量对优化工艺十分重要，目前一般都是取样到实验室进行分析。实际由于三氯氢硅的化学和物理特性（二氯二氢硅为剧毒、无色、易燃、液化性气体），使本样品取样分析非常危险和困难，而且取样到实验室分析对在线生产的指导时间滞后性太大。惠斯通经过现场实地考察，与多晶硅厂家应用专家进行深入交流了解，经过两年多时间设计开发出可应用于半导体行业的三氯氢硅在线分析仪二氯二氢硅色谱分析仪WH609X。