三氯氢硅作为制造多晶硅的主要原料，其中二氯二氢硅的含量对优化工艺十分重要，目前一般都是取样到实验室进行分析。实际由于三氯氢硅的化学和物理特性（二氯二氢硅为剧毒、无色、易燃、液化性气体），使本样品取样分析非常危险和困难，而且取样到实验室分析对在线生产的指导时间滞后性太大。惠斯通经过现场实地考察，与多晶硅厂家应用专家进行深入交流了解，经过两年多时间设计开发出可应用于半导体行业的三氯氢硅在线分析仪二氯二氢硅色谱分析仪WH609X。
WH609X三氯氢硅在线色谱仪，可以做到实时监测分析现场二氯二氢硅组份的变化。通过三年不断的优化升级，已经达到隔爆，无需大量仪表风吹扫。并可根据实际情况为客户定制分析方案，设备。
