三氯氢硅作为生产多晶硅的主要原料，在常温常压下具有刺激性氯化氢气味，易流动易挥发的无色透明液体。三氯氢硅沸点31.5℃，易挥发、易潮解，遇空气中微量水分反应立即水解，产生氯化氢气体并生成白色颗粒物，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火、高热时发生燃烧或爆炸，具有急性毒性。这不仅给取样带来很大的困难和危险而且会影响分析结果的准确性，很难做到精确指导生产，基于这样的前提下惠斯通研制开发在线分析氯硅烷组分含量的在 线色谱分析仪。
惠斯通WH609X在线色谱仪能够在线分析高纯三氯氢硅中的二氯二氢硅的含量。使用TCD检测器，检出精度0.01%的二氯二氢硅含量用4-20mA信号输出。用氢气作为载气（氢气纯度：99.999%，灵敏度高易定量），分析结果准确度高、重现线性好。隔爆型防爆设计，无需正压控制，现场维护方便。
